半导体清洗设备
1、设备可用于半导体器件的清洗腐蚀,如硅片、石英管、晶片、晶圆等的清洗刻蚀。
2.整机由机台、操作台面、清洗槽体、温度控制系统,排风、机台照明、电气控制系统等组成。机身包板为德国PP板。瓷白色,整洁美观。
3.共3个槽体 水浴加热槽2个,排水槽1个
4. 本半导体硅片光刻清洗机设备的左、右前方各配置PFA进口水气喷雾枪